2014年6月19日下午15:00-17:00金沙威尼斯欢乐娱人城张段芹博士为全校师生作了一场专题为“微机电系统(MEMS)相关技术与应用概述”的学术报告。
在报告中,张段芹博士首先介绍了MEMS的起源与发展历程,随后用大量MEMS器件实例与商业化代表性产品实例介绍了MEMS的应用,并深入浅出地介绍MEMS相关微制造技术,包括硅微加工工艺、超精密特种微加工工艺与LIGA工艺;最后简要介绍了MEMS领域的研究内容与未来发展方向。
张段芹博士的报告,通过引用大量的实例,引起在场师生浓厚的兴趣;广大师生就各自感兴趣的问题纷纷提问,现场气氛热烈!这次学术报告丰富了学生的学术生活,开阔学生知识面,激发学生对微机电相关高科技知识的求知热情。